退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的。
可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。
?
退火爐是冷軋連續熱鍍鋅生產線中的重要設備，爐內氣氛直接影響產品的表面質量。
目前，高端汽車板生產對爐內氣氛的要求很高，一般要求殘氧量在10ppm以下，露點在-40℃以下。爐內氣氛的好壞在很大程度上取決于爐子本身的氣密性。
連續退火爐氣密性檢查的難點主要在于爐體面積大，管道復雜，可能出現泄漏的部位繁多，對氣密性的檢查要常規化、制度化。
1、確定氣密性檢查的重點部位
這些重點部位一般包括：
1）檢修時更換設備的部位。檢修時動過的爐體和管道部分，都要作為檢查的關鍵部位。
2）開啟過的頂蓋、底蓋、穿帶孔、檢修門。
3）入口密封輥縫。
4）爐殼和循環管道上的膨脹節，爐輥法蘭、換熱器法蘭、各儀表法蘭和焊口等。
5）水冷高溫計、攝像頭、水冷換熱器等。
6）分析儀取樣管接頭等。
2、正壓部分的檢查
正常生產過程中，退火爐要保持在150-300Pa的微正壓。
1）泄漏的判斷
觀察在線氧氣ppm分析儀測量數據，當某段殘氧量突然明顯升高時，就可能是爐殼或循環管道發生泄漏。
2）泄漏點的檢查方法和工具
工具室氫氣探測儀，方法是保證爐內氫氣在3%以上，用便攜式氫氣探測儀檢查經過確認漏氣爐段的氣密性，重點部位是頂檢修焊縫等，當檢查到漏點部位時，氫氣探測儀會發生報警。
3、負壓部分的檢查
循環風機的吸入端為負壓，如果負壓部位發生泄漏，空氣就會被吸入爐內。
1）泄漏的判斷
通過觀察在線分析儀測量數據變化，就可以判斷這臺風機是否有泄漏。
2）泄漏點的檢查方法和工具
負壓泄漏點的檢查可以通過上述方法，將負壓變成正壓，然后使用氫氣探測器檢查，也可以使用專門用于負壓檢漏設備——氦氣檢漏儀進行檢查。
4、泄漏點處理
退火爐總是處于工作狀態，對于一些漏點可以采取打高溫密封膠等方法做臨時處理，要等有停爐的機會再做徹底處理。
對開裂部位進行補焊；已經老化或損壞的密封墊、圈要更換；更換出現漏洞的部件例如膨脹節等；對松動的螺栓進行緊固；涂抹高溫密封膠。
退火爐氣密性的檢查中應確定泄漏檢查重點、使用正確的檢查工具和方法，正確的處理方法，才能保證爐子的氣密性，有效改善爐內氣氛，生產出高表面質量的鍍鋅產品。
